ウェハの厚さ測定におけるポイント
概要説明
ウェハの検査・測定においては、様々な測定項目に対しての検査が求められます。本ページでは、ウェハの厚さに関する基礎知識からその測定方法ならびに、当社が提供した装置による測定結果についてご紹介をいたします。
1.ウェハの厚さ測定とは？
不良の原因の一つにウェハの厚さのバラツキというものが存在します。ウェハの厚さにバラツキが発生する要因としては、ウェハの製造プロセスにおける化学的な作用や機械的な作用、もともとのウェハの素材欠損など、発生要因は様々と言えます。
ウェハの厚さについては、各製造工程においてウェハの厚さにバラツキを生むため、工程ごとに検査が必要になるという点も注意が必要です。
2.ウェハの厚さ測定をしなければならない理由
ウェハの厚さのバラツキというのは、ウェハの製造プロセスにおいて非常に問題となります。では、この厚みのバラツキがどのような事態（不良）を招くのかというと、ウェハの厚さは均一であるという仮定のもと、その後の加工工程が進んでいくため、ウェハの表面特性におけるばらつきを生み、以下のような不具合が発生してしまいます。
・ウェハ膜のクラック（裂け）
・膜の剥がれと歪み
・ボイド（膨らみ）
・硬化した突起
そのため、ウェハの厚さのバラツキを残したまま次工程に移行してしまうと不良の原因となります。例えば、露光工程において焦点のずれが起こり、歩留まりの低下に繋がってしまいます。
4.ウェハの厚さ測定例
ウェハ検査装置・測定装置ラボ.comではウェハ検査・ 測定における自動機メーカーとして様々な装置の開発を行ってきました。こちらは、当社で行ったウェハの厚さ測定の測定結果画像です。
このように実際の測定結果を２Dのカラー分布図で表記し、お客様に分かりやすく、ご提示することが可能です。ウェハの素材や状態に応じた提案も可能となっています。
詳しくは下記装置事例をご覧ください。
