ウェハ生産プロセスの省力化・自動化サポート装置
概要説明
ウェハ検査装置・測定装置.comでは、ウェハのウェハ生産プロセスの省力化・自動化サポート装置を数多く手がけてきました。本ページでは、当社が手掛けてきたウェハのウェハ生産プロセスの省力化・自動化サポート装置を中心にご紹介いたします。
1.ウェハ検査プロセスにおける、省人化装置の種類
ウェハ検査装置・測定装置ラボ.comでは、Webサイト名称にもある通りウェハの生産プロセスにおける単工程もしくは複数工程の省力化・自動化を実現するための装置を手掛けています。
ウェハというのは、製品として求められる精度・キズや汚れなどについて非常にデリケートな製品である為、限りなく人の介在を減らすことで製品の精度を保つことができます。（※もちろん、ゼロにすることは難しい。）
そこで、当社ではお客様の生産プロセスにあった省力化・自動化装置をカスタマイズ生産することで、省力化・自動化ニーズに対して最適なご提案が可能となっています。全ての装置・製品を紹介すると膨大な量となりますので、ここではいくつかピックアップして装置事例について紹介をしたいと思います。
当社が手掛けるウェハの省力化・自動化装置は主に、以下の２品種に大別することができます。
・サポート装置
・洗浄装置・乾燥装置
以下では、これら装置について詳しく紹介いたします。
2.サポート装置
ウェハ検査装置・測定装置ラボ.comで手掛けた、省人化・省力化装置の一例として挙げられるのがサポート装置です。このサポート装置というのは、人が行っていた作業の一部を代替するための装置です。
主に、
・作業時において人が触れるとキズや汚れの原因になる工程
・人がこれまで行っていたが、作業に時間を要する工程
などにおいて、機械で代用したいというニーズのある場合に当社でご提案をする装置です。
以下では、具体的に2つ取り上げたいと思います。
①自働UV照射装置（SUH-02型）
一つ目に紹介する装置は、UV照射によりウェハメモリを消去しリサイクルを行う為の装置です。1枚のウェハメモリを消去するには大体２～３時間ほど必要となりますが、従来は、ウェハをUV照射器にセットする作業を人が行っており、２～３時間ごとにウェハの入れ替えを行わなければなりませんでした。一方で本機を用いると、カセット内ウェハ(24枚)をUV照射器へ自動供給し連続稼働することで、12時間程度無人化運転が可能となりました。
※無人運転時間はメモリ消去時間に依ります。
②ノッチ・オリフラ自動整列機（AAM-01型）
2つ目の装置は、指定カセットに収納されたウェハのノッチ及びオリフラの向きを整列させる装置です。従来は人が整列させており、作業に人を要する点と人が介在することによるウェハへの傷が問題となっていました。そこで、人の介在をなくすため本装置を導入し2カセットを設置できるようにすることで、作業時間の大幅な削減も可能となりました。
3.洗浄装置・乾燥装置
次に紹介する装置は、洗浄装置・乾燥装置です。
ウェハの製造プロセスにおいては、表面のポリッシングなどを行う工程の後に洗浄並びに乾燥という工程が必ず入ります。
これまでは、洗浄・乾燥工程において人が介在することで人件費分のコストアップを招いたり、人が介在することによるキズ（不良品）の発生などがありました。
そこで、これらの工程を省力化・自動化するために当社でご提案しているのが洗浄装置・乾燥装置というものです。
ここでは代表的な一つの事例をご紹介します。
ウェハ乾燥機 （WCM-01型）
本装置は、ウェハの洗浄・乾燥を一つの装置で完結することができるもので、ウェハをブラシと水により洗浄しエアにより乾燥することができます。本装置を導入することで人が介在しなくなったことによる品質面における傷の発生を抑制し、単装置で完結することによるタクトタイムの短縮に成功しました。
