静電容量式
静電容量式とは、厚さ測定における方法の1つです。静電容量とは、絶縁された導体間において電荷を貯蔵できる容量を意味します。ワークを挟んで2つの電極を設置し、電極同士を電気的に接続させると、電極間に静電容量が発生します。静電容量は、物体間の誘電率と電極面積、距離によって定められます。つまり、電極の面積と距離を一定にして、電極間を構成する誘電率の静電容量を測定することで、逆算的にワークの厚さを算出することが可能となります。
接触式の静電容量式の場合は、電極間はワークのみで構成されるため、ワークの誘電率を用いて厚さを算出します。非接触式の場合は、空気とワークが電極間に存在するため、電極とワークの距離を変位計によって算出し、空気とワークの誘電率を用いて厚さを算出します。
当社では非接触式の静電容量式厚さ測定器を多数保有しております。厚さ測定にお悩みの方は、お気軽にお問い合わせください。
用語一覧
分光干渉式
静電容量式
化合物半導体ウェハ
ポーラスチャック
ベルヌーイ
パーティクル
ノッチ
テフロンコート
タクトタイム
ダイシング
スタンドアローン
水平多関節ロボット
オリフラ
エッジクランプ
アライメント
Siウェハ
SiCウェハ
SEMI
MEMS
JEITA
FFU
P/N判定
SORI
BOW
WARP
TTV
HSMS通信
SECS通信
インライン
PMT電圧
最小検出粒径
光散乱検出
ヘイズ
GEM通信
HOST通信
ウェハ
GaAsウェハ
産業用ロボット
ファクトリーオートメーション(FA)
SFQR
SFQD
色収差共焦点式
レーザ変位計
屈折率
シリコンサイクル
SOI
SOIウェハ
多結晶
単結晶
クリーンクラス
イレブンナイン