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用語集

オリフラ

オリフラとは、オリエンテーション・フラットの略で、ウェハの結晶方位を示すためにウェハに形成された平部のことです。オリフラはノッチと異なり、主に2~8インチと比較的小さいウェハの結晶方位を示すために形成されます。これは、小口径のウェハでノッチを形成するとV形状も相対的に小さくなってしまうため、小口径ウェハには明確に結晶方位を示すことができるオリフラが採用されています。

 

 

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