SEMI
SEMIとは、国際半導体製造装置材料協会のことで、Semiconductor Equipment and Materials Internationalの略です。1970年に設立され、アメリカを中心に、各国に拠点をおきます。このSEMIが半導体製造装置に関連した標準規格を決定しています。そのため半導体製造装置を使用する際は、SEMIが定めるSEMI規格に基づいて設計しなければなりません。
用語一覧
分光干渉式
静電容量式
化合物半導体ウェハ
ポーラスチャック
ベルヌーイ
パーティクル
ノッチ
テフロンコート
タクトタイム
ダイシング
スタンドアローン
水平多関節ロボット
オリフラ
エッジクランプ
アライメント
Siウェハ
SiCウェハ
SEMI
MEMS
JEITA
FFU
P/N判定
SORI
BOW
WARP
TTV
HSMS通信
SECS通信
インライン
PMT電圧
最小検出粒径
光散乱検出
ヘイズ
GEM通信
HOST通信
ウェハ
GaAsウェハ
産業用ロボット
ファクトリーオートメーション(FA)
SFQR
SFQD
色収差共焦点式
レーザ変位計
屈折率
シリコンサイクル
SOI
SOIウェハ
多結晶
単結晶
クリーンクラス
イレブンナイン
