SEMI
SEMIとは、国際半導体製造装置材料協会のことで、Semiconductor Equipment and Materials Internationalの略です。1970年に設立され、アメリカを中心に、各国に拠点をおきます。このSEMIが半導体製造装置に関連した標準規格を決定しています。そのため半導体製造装置を使用する際は、SEMIが定めるSEMI規格に基づいて設計しなければなりません。
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