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MEMS

MEMS（メムス）は、Micro Electro Mechanical Systemsの略で、半導体基板に機械要素部品を合わせた微細デバイスのことを言います。MEMS全体はミリメートルオーダー以下の立体構造を持ち、構成する部品はマイクロオーダーに至ります。MEMSはシリコン基板表面に膜を形成させて削る、という作業を繰り返すことで立体構造を形成し、センサやアクチュエータ、電子回路をひとまとめにします。MEMSは主に小型化や省力化、低コスト化を実現するデバイスで、主に自動車や情報機器、家電、医療機器、バイオ分野など幅広い分野に用いられています。

 

 

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