FFU
FFUとは、ファンフィルターユニット（Fan Filter Unit）の略称で、ファンとフィルタをセットで筐体に組み込んだユニットのことです。ファンで吸い込んだ空気がフィルターを通過する際に清浄化され、クリーンエアーとして送り出されます。FFUはその空気清浄機能のため、主にクリーンルームやクリーンブースの天井に設置されることが多いです。当社の場合、半導体製造装置関係の機器を取り扱うため、お客様のご要望に応じてFFU搭載のクリーンルームでの製造を行うなど、柔軟な対応をしいております。
用語一覧
分光干渉式
静電容量式
化合物半導体ウェハ
ポーラスチャック
ベルヌーイ
パーティクル
ノッチ
テフロンコート
タクトタイム
ダイシング
スタンドアローン
水平多関節ロボット
オリフラ
エッジクランプ
アライメント
Siウェハ
SiCウェハ
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MEMS
JEITA
FFU
P/N判定
SORI
BOW
WARP
TTV
HSMS通信
SECS通信
インライン
PMT電圧
最小検出粒径
光散乱検出
ヘイズ
GEM通信
HOST通信
ウェハ
GaAsウェハ
産業用ロボット
ファクトリーオートメーション(FA)
SFQR
SFQD
色収差共焦点式
レーザ変位計
屈折率
シリコンサイクル
SOI
SOIウェハ
多結晶
単結晶
クリーンクラス
イレブンナイン
