SORI
SORIは、ウェハを真空吸着せずに保持した際の形状を表すパラメータの1つで、ウェハの最小二乗平面を基準としたウェハ表面における最高点と最低点の高さの合計を表します。SORIはWARP同様に、絶対値での合計となるため常に正の値を取りますが、WARPではウェハ3点基準面を参照するのに対して、SORIでは最小二乗平面を参照します。またSORIでは、ウェハを垂直保持するか、水平保持するかを指定することができます。
用語一覧
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