HSMS通信
HSMS通信は、High Speed Message Serviceの略で、通信仕様の拡張をするものです。SECS-1におけるRS232Cに対して、RS232C部分をイーサネットのTCP/IPに置き換えるために、HSMS通信が使用されます。SECS-1では1対１通信のためハードウェアにおける接続で成立しますが、TCP/IPの場合はバスライン上でエンティティ同士でつながりの有無を確立しなければなりません。
用語一覧
分光干渉式
静電容量式
化合物半導体ウェハ
ポーラスチャック
ベルヌーイ
パーティクル
ノッチ
テフロンコート
タクトタイム
ダイシング
スタンドアローン
水平多関節ロボット
オリフラ
エッジクランプ
アライメント
Siウェハ
SiCウェハ
SEMI
MEMS
JEITA
FFU
P/N判定
SORI
BOW
WARP
TTV
HSMS通信
SECS通信
インライン
PMT電圧
最小検出粒径
光散乱検出
ヘイズ
GEM通信
HOST通信
ウェハ
GaAsウェハ
産業用ロボット
ファクトリーオートメーション(FA)
SFQR
SFQD
色収差共焦点式
レーザ変位計
屈折率
シリコンサイクル
SOI
SOIウェハ
多結晶
単結晶
クリーンクラス
イレブンナイン
