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用語集

SECS通信

SECSとは、国際半導体製造装置材料協会のSEMIが提唱する、全世界的に用いられている通信ソフトウェアの規格のことです。半導体製造工場において、工場内システムやシステム管理をするホストコンピューターと、工場内の半導体製造装置との通信に用いられる通信プロトコルです。SECSには、通信を確立するためのSECS-1、通信において用いられるデータを定義するSECS-2という2種類があります。
ウェハ製造プロセスには、気温や湿度、電圧、気圧などが影響するため、製造装置にはナノレベルでのパラメータ－を調整する必要があります。そのためには、気温や湿度などの環境値と装置に蓄積されてきた製造プロセスにおけるデータをもとに、最適な条件を算出する必要があります。この最適条件をホストコンピューターから各半導体製造装置に送信するのも、半導体製造装置から製造データを取得する際も、SECSが必要となります。このSECSを用いる際は、各装置をTCP/IP、もしくはRS232Sで接続しなければなりません。

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