PMT電圧｜用語集｜ウェハ検査装置･測定装置ラボ.com

PMT電圧とは、PMTに印加している電圧のことです。

PMTとは、光電子増倍管（Photomultiplier Tube）のことで、光が照射された際に放出された二次電子を、ダイノードと呼ばれる二次電子増倍電極によって増幅させることで、高感度の測定が可能となる光センサーのことです。

PMTの陰極から放出された電子は、PMT電圧によって増幅量が変化します。そのため、PMT電圧が多いほど発生する二次電子量も多くなるため、検出感度が高くなります。また、PMT電圧の増加に対して検出感度は比例ではなく指数関数的な増加をします。

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