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用語集

最小検出粒径

最小検出粒径とは、粒子を検出するパーティクル検査において検出することができる、最小サイズの粒径を意味します。
 
パーティクルとは、ウェハ製造プロセスにおいてはナノレベルの塵を意味します。
 
ウェハ基盤上にナノレベルのパーティクルが混在するだけで、そのウェハ基盤は不良品となってしまいます。そのため、パーティクルを極限まで低減させることが半導体製造プロセスには求められており、そのためのウェハ外観検査装置における最小検出粒径が非常に重要なパラメータとなります。
 

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