光散乱検出
光散乱検出とは、ウェハにレーザー光を照射することで、ウェハ表面上の異物を検出することを意味します。
レーザー光がウェハ表面のパーティクルを透過した際には散乱光が生じるため、その散乱光及びウェハ表面の計測データをもとに計算を行うことで、ウェハ表面の特定位置にあるパーティクルを検出することができます。
用語一覧
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