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用語集

ベルヌーイ

ベルヌーイ式ハンドとは、ベルヌーイ効果を用いたチャックのことで、気体垂直噴流方式とも言います。ベルヌーイ効果とは、空気や水などの流体が勢いよく流れた際に、流体周辺の圧力が低くなることで周囲の物質を引き付ける現象をいいます。チャック先端からワークに対して勢いよく空気を放射方向に噴出させることで、チャック中心部において圧力効果が発生します。このベルヌーイ効果によってワークがチャックに引き付けられ、エッジ以外は接触をせずに吸着することができます。ベルヌーイ効果は空気の給圧力が高いほど大きな負圧を発生させ、より強い力でワークを引き付けることができます。このベルヌーイ式ハンドでは、ウェハなどの比較的薄いワークに対して効果を発揮します。

 

 

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