色収差共焦点式
光の色情報（波長）を利用して高さを測定する新しい測定原理です。
変位センサに一般的に使用されるレーザ光ではなく、LED光を採用。LEDから出た白色光はセンサヘッド内の特殊レンズ群OCFL*モジュールにより色 （波長） ごとに異なった位置で焦点を結びます。
その結果、対象物の高さに応じて焦点の一致した色の光が返ってくるため、反射光の色情報からセンサヘッドと対象物の距離を測定することができます。
測定対象物から反射した光のピークを検出することで高さを測定していた従来の三角測距方式に比べ、対象物の材質や色、傾きに影響されにくく、安定した測定が可能です。
用語一覧
分光干渉式
静電容量式
化合物半導体ウェハ
ポーラスチャック
ベルヌーイ
パーティクル
ノッチ
テフロンコート
タクトタイム
ダイシング
スタンドアローン
水平多関節ロボット
オリフラ
エッジクランプ
アライメント
Siウェハ
SiCウェハ
SEMI
MEMS
JEITA
FFU
P/N判定
SORI
BOW
WARP
TTV
HSMS通信
SECS通信
インライン
PMT電圧
最小検出粒径
光散乱検出
ヘイズ
GEM通信
HOST通信
ウェハ
GaAsウェハ
産業用ロボット
ファクトリーオートメーション(FA)
SFQR
SFQD
色収差共焦点式
レーザ変位計
屈折率
シリコンサイクル
SOI
SOIウェハ
多結晶
単結晶
クリーンクラス
イレブンナイン
