クリーンクラス
クリーンルームとは、「空気中の微粒子、必要に応じて温湿度、圧力、微量ガス成分、静電気、微振動、電磁波などの環境条件を制御できる部屋」のことを指し、半導体やディスプレイなどの精密工業製品の製造にはクリーンルームが不可欠です。空気中の微粒子がどの程度少ないか、つまりどれくらいキレイなのか。これらについての規格がクラス(清浄度)です。清浄度クラスのレベルは業界によっておおよその目安がありますが、業種や作業内容などにより、製品に求められる要求、歩留まりなどを考慮して清浄度クラスが決定されます。クラスの示す尺度は、単位体積に含まれる粒子の数で示されます。例えば、0.5μm微粒子が1立方フィートのなかに100個以下の場合はクラス100、0.5μm粒子が10,000個以下の場合はクラス10,000となります。
用語一覧
分光干渉式
静電容量式
化合物半導体ウェハ
ポーラスチャック
ベルヌーイ
パーティクル
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Siウェハ
SiCウェハ
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MEMS
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FFU
P/N判定
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BOW
WARP
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ヘイズ
GEM通信
HOST通信
ウェハ
GaAsウェハ
産業用ロボット
ファクトリーオートメーション(FA)
SFQR
SFQD
色収差共焦点式
レーザ変位計
屈折率
シリコンサイクル
SOI
SOIウェハ
多結晶
単結晶
クリーンクラス
イレブンナイン