パーティクル
パーティクルとは、ウェハ製造プロセスにおいてはナノレベルの塵を意味します。半導体回路は数ナノ～数十ナノメートルという非常に微細な回路を有します。そのため、ウェハ基盤上にナノレベルのパーティクルが混在するだけで、そのウェハ基盤は不良品となってしまいます。そのため、パーティクルを極限まで低減させることが半導体製造プロセスには求められます。
当社では、経産省のものづくり支援事業の認定を受け、ウェハのパーティクル自動検査装置の試作開発を行った実績があります。パーティクルの検査にお困りの方は、お気軽にお問い合わせください。
