パーティクル
パーティクルとは、ウェハ製造プロセスにおいてはナノレベルの塵を意味します。半導体回路は数ナノ~数十ナノメートルという非常に微細な回路を有します。そのため、ウェハ基盤上にナノレベルのパーティクルが混在するだけで、そのウェハ基盤は不良品となってしまいます。そのため、パーティクルを極限まで低減させることが半導体製造プロセスには求められます。
当社では、経産省のものづくり支援事業の認定を受け、ウェハのパーティクル自動検査装置の試作開発を行った実績があります。パーティクルの検査にお困りの方は、お気軽にお問い合わせください。
用語一覧
分光干渉式
静電容量式
化合物半導体ウェハ
ポーラスチャック
ベルヌーイ
パーティクル
ノッチ
テフロンコート
タクトタイム
ダイシング
スタンドアローン
水平多関節ロボット
オリフラ
エッジクランプ
アライメント
Siウェハ
SiCウェハ
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MEMS
JEITA
FFU
P/N判定
SORI
BOW
WARP
TTV
HSMS通信
SECS通信
インライン
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最小検出粒径
光散乱検出
ヘイズ
GEM通信
HOST通信
ウェハ
GaAsウェハ
産業用ロボット
ファクトリーオートメーション(FA)
SFQR
SFQD
色収差共焦点式
レーザ変位計
屈折率
シリコンサイクル
SOI
SOIウェハ
多結晶
単結晶
クリーンクラス
イレブンナイン