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用語集

ノッチ

ノッチとは、ウェハの結晶方位を示すためにウェハに形成されたV形状の溝のことです。ノッチはオリフラとは異なり、主に8インチ以上の比較的大きなウェハに対して形成されます。これは、大口径のウェハに対してオリフラを形成してしまうと、平部を形成するためにカットするウェハ面積が大きくなってしまうため、できるだけ少ないカットで結晶方位を示すために、大口径ウェハに対してはノッチが適応されています。

 

 

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