テフロンコート
テフロンコートとは、フッ素樹脂をコーティングする表面処理の一種です。半導体製造プロセスは非常にクリーンな環境が求められるため、塵や破片がないのはもちろんのこと、半導体製造装置にも耐熱性、非粘着性、耐候性、化学的不活性などの特性が求められます。そのため、様々な優れた特性を持つテフロンコートが半導体製造装置やウェハのカセットにも用いられています。
用語一覧
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静電容量式
化合物半導体ウェハ
ポーラスチャック
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テフロンコート
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