「ウェハ検査装置･測定装置ラボ.com」の装置開発デモラボ

ウェハ検査・測定の「したい」を叶えるDemo Lab

これまで人による検査を手掛けていた工程をスタンドアローン装置に置き換えることで、効率化に貢献。自動化・省力化機器の構想提案から設計～製造までを一貫して行っています。

顕微鏡ローダー
厚さ測定機
全自動UV照射装置

Demo Labコンセプト

Demo Labはウェハ検査装置･測定装置ラボ．comが手掛けるウェハのデモ検査からオーダーメイド装置の提供までを「お客様と共同開発」するための専用ラボです。
昨今、生産性向上を目的とした自動化やロボット化が市場ニーズとしてあります。
そこで、ウェハ検査装置･測定装置ラボ.comでは、“ウェハ検査・測定の「したい」を叶える”をコンセプトに、Demo Labを開設。
お客様が自社では行えない検査・測定プロセス装置の開発を当社がサポートすることで実現していただきます。
Just FitするSystemを提供するという理念を体現する開発ラボとなっています。

Demo Lab提供装置と保有Demo装置

ウェハ検査装置･測定装置ラボ.comは、ウェハの前工程（ウェハプロセス）ならびに後工程（組立プロセス)における検査・測定をお客さまの仕様に合わせ、ご提案を行う、ウェハ検査・試験を行う専門メーカーです。

Demo Lab での設計・製造実績　一覧

機能・目的	装置詳細
厚み測定・仕分け	手動厚さ測定機(接触式or非接触式)・自動厚さ測定機(接触式or非接触式)・厚さ仕分け機(接触式or非接触式)・キャリア厚さ測定機(接触式or非接触式）
形状・抵抗率測定	直径測定機・形状測定機・自動抵抗率測定機(接触式・非接触式）・SORI測定機・面方位測定機・P/N判定・比抵抗測定装置・ID読み取り装置
外観検査・画像検査	顕微鏡ローダー・外観検査装置・外観目視検査装置・画像処理キズ検査ユニット・パーティクル検査装置(レーザー式）・画像処理欠陥検査装置
移載・搬送	チップ移載機・ウェハ自動移載機・ウェハ自動反転移載機・ID読取り自動移載機・ダイシングリング付きウェハ移載機・ウェハ取出収納機
UV照射・乾燥	UV照射装置・ウェハ手動乾燥機

Demo Labでは、常設のデモ機を３機種保有し、お客様の検査目的・項目に合わせたデモ検査を実施しています。お客様のご不安事として、「本当に測定できるの？」「装置を作ったのはいいけど使えない・・・」といったことが挙げられます。当社では、その点を解消しながら、お客様がご満足いただける装置提供をお約束いたします。

デモ機①
デモ機②
デモ機③
デモ機④

Demo Labがご提案するデモ測定からオーダーメイド測定機　提供の流れ

Demo Labをご利用されたい方、検討されている方には、下記のような進め方をご提案しています。
ご質問だけでも結構です。まずは、お問合せください。

Demo Labにお問合せをいただく

お問合せを頂いた際、どのような点に困っているのか？、測定したい項目は何か？といった内容を確認し、お求めの装置で何を実現したいのか明確にした上で、デモ検査をご提案いたします。
装置化する前にまずは相談したいといったお問い合わせが大半です。
・ウェハのこの項目を測定したいんだけどできる？
・今、人手でやっていることを自動化・半自動化できる？
Demo Labにお越しいただく or ウェハを送付頂きデモ検査

ウェハのサンプルもしくは、本製品をお借りし、当社のデモ機を用いたデモ測定を行います。郵送にて対応をさせて頂く場合や、当社のDemo Labにお越しいただき、検査を行う場合のどちらもございます。
デモ検査後は、求める仕様に対して過不足ないものであるか、確認を頂く為、検査表をご提出いたします。
Demo Labにて測定結果を基に、装置仕様の確認・追加提案

お客様より、検査結果に対するフィードバックをいただき、ご意見を基に、装置の仕様について、追加のご提案をいたします。ご満足いただけるまで、装置仕様の追加提案をお約束いたします。例えば、検査はできるが工程上のスペースの問題で置けないなどの課題を解決し、機能性だけでなく、実用性にも配慮した検査・測定装置を提案・提供いたします。
装置の仕様に基づき、詳細設計～製造・組立

確定した装置の仕様に基づき、製造・組立に入ります。当社は近隣のサプライヤーのネットワークを使用して、コスト面に配慮しながら、最適な装置の提供いたします。
高いクリーン度が求められる装置の場合には、クリーンブース内で製造・組立を行います。
Demo Labにて動作チェック・テスト検査を実施

デモ機での検査結果と照らし合わせ、製造した装置がご満足頂くものとなっているか、仕様通りの動作を行っているのかなど、装置の納品を行う前にDemo Labで立ち合い確認を行っていただきます。
納品前にチェック頂くことで、細かな仕様変更にも対応が可能です。
Demo Labよりお客様の指定の方法で納品

完成した装置は、お客様のお求めになる方法で納品します。
お客様の工場・社屋に納品を行う場合、営業・設計担当者が立ち合いをさせて頂き、据付までフォローいたします。ご使用いただく場所での動作確認の他、オペレーショントレーニング及びメンテナンストレーニングの説明を実施します。