手動キャリア厚さ測定機（CME-05型）
概要・特徴
- 概要
- ラップ/ポリッシュ用キャリアの厚さを測定する装置です。
- ワークサイズ
- φ525、810mm
- 工程
- ポリッシング工程
- ウェハ厚み
- 750μm程度
- 業界
- 電子部品
- 素材
- SUS等
- 特徴1
- ワークへの帯電防止のため測定台は導電性樹脂板を使用しています。
- 特徴2
- ブレやたわみによる誤差を低減するため門型構造とします。
- 特徴3
- 測定するキャリアのサイズ、材質、測定ポイント等はご相談ください。
導入情報・効果
- 導入前～課題～
- 作業者により測定のばらつきが発生
- 導入後～効果～
- 作業者による測定精度の誤差が解消された。
基本仕様・機械仕様
| 対象ワーク | SUSキャリア |
|---|---|
| ワークサイズ | φ525、810mm |
| ワーク厚さ | 750μm程度 |
| 設備形式 | 床設置式 |
| 設置環境 | Class 1000 |
| 装置寸法 | W1,000 x D1,300 x H1,000 (mm) |
| 装置重量 | 150kg |
| 電源電圧 | 単相 100V 50/60Hz共用 |
| 圧空 | 0.4MPa以上 |
| 測定センサ | デジタルゲージ |
| 測定精度 | 繰り返し10回
標準偏差 0.1μm以下 |
| 測定ポイント | 任意多点測定 |
