ウェハ厚さ仕分け機(WTS-03型)
概要・特徴
- 概要
- ウェハの厚さ測定を行い、その厚さに応じて並べ替えを行う装置です。
- ワークサイズ
- φ8インチ
- 工程
- 熱処理工程
- ウェハ厚み
- 400 ～ 1,000μm
- 業界
- 電子部品
- 素材
- Si（シリコン）
- 特徴1
-
アンローダカセットステージは8個×3段を左右に配置し、最大1200枚のウェハ処理を
可能
- 特徴2
-
測定したデータは付属パソコンのEXCELファイルに保存されます。保存のフォーマットは
様々なご要望に応じることが可能。
- 特徴3
- バーコードリーダラベルプリンタ等の取付けもご希望により対応します。
導入情報・効果
- 導入前～課題～
- 一工程に一人必要となっており、人の問題でコストアップを招いていた。
- 導入後～効果～
- 自動化装置導入により作業者が多くの仕事を行えるようになった。
基本仕様・機械仕様
| 対象ワーク | Si（シリコン） |
|---|---|
| ワークサイズ | φ8インチ |
| ワーク厚さ | 400 ～ 1,000μm |
| 設備形式 | 床設置式 |
| 設置環境 | Class 1000 |
| 装置寸法 | W2,850 x D1,400 x H2,300 (mm) |
| 装置重量 | 1,000kg |
| 電源電圧 | 三相 200V 50/60Hz共用 |
| 圧空 | 0.5MPa以上 |
| 真空 | 付属 真空ポンプ |
| 測定センサ | 静電容量センサ |
| 測定精度 | 繰り返し10回
標準偏差 0.2μm以下 |
| 測定ポイント | 中心1点 |
| タクトタイム | ウェハ稼働率 75%
3673枚処理
3.5sec/枚 |
| 搬送方式 | ツインアームクリーンロボット ２基 |
| 搭載可能キャリア数 | ローダ6個/アンローダ48個 |
