自動抵抗率測定機(RTS-02型)
概要・特徴
- 概要
- ウェハの厚さと抵抗の測定を行い、指定された抵抗率の区分または抵抗率の厚さを含んだ区分にワークを選別する装置です。
- ワークサイズ
- φ4、5、6、8インチ
- 工程
- ラッピング工程
- ウェハ厚み
- 200 ~ 1,000μm
- 業界
- 電子部品
- 素材
- Si(シリコン)
- 特徴1
- 画像処理システムを使用し、ワークのセンタリング及び基準位置出し
- 特徴2
- 測定したデータは、付属パソコンにCSV形式で保存
- 特徴3
- 画像処理システムを使用し、ウェハのセンタリング及び基準位置出しを行います。
導入情報・効果
- 導入前~課題~
- 作業者により測定のばらつきが発生。
- 導入後~効果~
- 作業者による測定精度の誤差が解消された。
基本仕様・機械仕様
対象ワーク | Si(シリコン) |
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ワークサイズ | φ4、5、6、8インチ |
ワーク厚さ | 200 ~ 1,000μm |
設備形式 | 床設置式 |
設置環境 | Class 1000 |
装置寸法 | W2,300 x D1,800 x H2,300 (mm) |
装置重量 | 1,000kg |
電源電圧 | 三相 200V 50/60Hz共用 |
圧空 | 0.5MPa以上 |
真空 | 付属 真空ポンプ |
厚さ測定 | デジタルゲージ
[測定精度]
繰り返し10回
指示精度 0.7μm以内
[測定ポイント]
中心1点、十字5点
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抵抗測定 | 四探針法
[測定精度]
繰り返し20回
指示精度 標準値±1%以内
[測定ポイント]
中心1点、十字5点 |
タクトタイム | φ6インチ 十字5点測定
28sec/枚 |
搬送方式 | シングルアームクリーンロボット 2基 |
搭載可能キャリア数 | ローダ12個/アンローダ15個 |