ウェハ厚さ測定機（TME-05型）
概要・特徴
- 概要
- ガラス板に貼り付けられたSiCウェハの厚みと接着剤の厚み測定及び、ウェハ単体の厚みを測定する装置です。
- ワークサイズ
- φ3、4、5、6インチ
- 工程
- バックグラインド工程
- ウェハ厚み
- 100 ～ 1,800μm
- 業界
- 電子部品
- 素材
- Si（シリコン）、SiC
- 特徴1
- ポーラスチャック式ウェハステージを採用し、薄いウェハを均一保持
- 特徴2
- 測定データは、付属パソコンのモニタ表示の他、CSV形式で保存。グラフィカル表示も可能。
- 特徴3
-
カメラによる外観撮像が可能です。
オプションにて承ります。
お気軽にご相談ください。
導入情報・効果
- 導入前～課題～
- 作業者により測定のばらつきが発生。
- 導入後～効果～
- 作業者による測定精度の誤差が解消された。
基本仕様・機械仕様
| 対象ワーク | Si（シリコン）、SiC |
|---|---|
| ワークサイズ | φ3、4、5、6インチ |
| ワーク厚さ | 100 ～ 1,800μm |
| 設備形式 | 床設置式 |
| 設置環境 | Class 1000 |
| 装置寸法 | W800 x D800 x H1,865 (mm) |
| 装置重量 | 300kg |
| 電源電圧 | 単相 100V 50/60Hz共用 |
| 真空 | 付属 真空ポンプ |
| 測定センサ | 分光干渉センサ |
| 測定精度 | 繰り返し10回
標準偏差 ±0.5μm以内 |
| 測定ポイント | レシピ多点測定 |
| タクトタイム | φ6インチ 十字5点測定
12sec/枚 |
