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ウェハ表面検査装置(VSI-01型)

ウェハ表面検査装置(VSI-01型)

ウェハ表面検査装置(VSI-01型)
ウェハ表面検査装置(VSI-01型)

概要・特徴

概要
ポリッシュ後ウェハの表面異物検査を行う装置です。また、異物のほかに、表面欠陥やキズ、表面粗さの検査も行えます。
ワークサイズ
φ5、6インチ
工程
検査工程
ウェハ厚み
700 ~ 800μm
業界
電子部品
素材
Si(シリコン)
特徴1
散乱光検出方式によりφ0.2μm以上の異物を検出します。
特徴2
裏面真空吸着とし、ウェハ表面には接触しません。
特徴3
ウェハサイズはご相談下さい。

導入情報・効果

導入前~課題~
生産性アップを課題として考えていた。
導入後~効果~
競合他社装置よりタクト短縮され生産性が向上した。

基本仕様・機械仕様

対象ワーク Si(シリコン)
ワークサイズ φ5、6インチ
ワーク厚さ 700 ~ 800μm
設備形式 床設置式
設置環境 Class 100
装置寸法 W600 x D800 x H1,320 (mm)
装置重量 300kg
電源電圧 単相 100V 50/60Hz共用
圧空 0.5MPa以上
検査方法 散乱光検出方式
検査範囲 ウェハ表面(外周部除外領域有り)
光源 レーザダイオード光源

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