外観検査装置(SWL-05型)
概要・特徴
- 概要
- ウェハの外観目視検査と厚さ測定を行う装置です。厚さ測定は十字5点及び十字9点の測定を選択できます。
- ワークサイズ
- φ8インチ
- 工程
- 洗浄工程
- ウェハ厚み
- 300 ~ 500μm
- 業界
- 電子部品
- 素材
- Si(シリコン)
- 特徴1
- ジョイスティック操作により目視検査が簡単に行えます。
- 特徴2
- ノッチ位置によるアライメントを行い、厚さを静電容量センサを用いて挟み込み測定を行います。
導入情報・効果
- 導入前~課題~
- 作業者により測定のばらつきが発生。
- 導入後~効果~
- 作業者による測定精度の誤差が解消された。
基本仕様・機械仕様
対象ワーク | Si(シリコン) |
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ワークサイズ | φ8インチ |
ワーク厚さ | 300 ~ 500μm |
設備形式 | 床設置式 |
設置環境 | Class 1000 |
装置寸法 | W1,500 x D920 x H1,650 (mm) |
装置重量 | 300kg |
電源電圧 | 単相 100V 50/60Hz共用 |
圧空 | 0.5MPa以上 |
真空 | -50kPa以上 |
検査方法 | 目視検査 |
検査範囲 | ウェハ表裏面 |
厚さ測定センサ | 静電容量センサ |
測定精度 | 繰り返し10回
標準偏差 0.2μm以下 |
測定ポイント | 十字5、9点測定 |