外観検査装置(OSI-01型)
概要・特徴
- 概要
- カセット内ウェハを自動で検査ステージに搬送し、外観目視検査を行う半自動装置です。
作業者の合否判定結果により、収納カセットを選別しウェハを収納します。
- ワークサイズ
- φ8インチ
- 工程
- 洗浄工程
- ウェハ厚み
- 325 ~ 725μm
- 業界
- 電子部品
- 素材
- Si(シリコン)
- 特徴1
- ジョイスティック操作により目視検査が簡単に行えます。
- 特徴2
-
照明はご相談により変更可能です。
現:ハロゲン光
導入情報・効果
- 導入前~課題~
-
人が介在することで作業時にウェハに破損が見られた。
- 導入後~効果~
- 手作業の取り扱いによるウェハ破損が無くなった。
基本仕様・機械仕様
対象ワーク | Si(シリコン) |
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ワークサイズ | φ8インチ |
ワーク厚さ | 325 ~ 725μm |
設備形式 | 床設置式 |
設置環境 | Class 1000 |
装置寸法 | W1,350 x D1,045 x H1,630 (mm) |
装置重量 | 300kg |
電源電圧 | 単相 200V 50/60Hz共用 |
圧空 | 0.5MPa以上 |
検査方法 | 目視検査 |
検査範囲 | ウェハ表裏面 |
光源 | ハロゲン光 |
搬送方式 | シングルアーム
電動スライダ組み合わせ |
搭載可能キャリア数 | ローダ1個/アンローダ1個 |