粉体処理機（PPT-01型）
概要・特徴
- 概要
- ウェハの粉体処理を行いSiC製ボートに充填する装置です。
- ワークサイズ
- φ4、5、6インチ
- 工程
- 熱処理工程
- ウェハ厚み
- 400 ～ 1,200μm
- 業界
- 電子部品
- 素材
- Si（シリコン）
- 特徴1
- ウェハ間に規定量のシリコン粉を挟みこみます。
- 特徴2
- ウェハ入りカセット60個と空カセット60個が収納可能です。
- 特徴3
- ウェハサイズ、使用カセットについてはご相談ください。
導入情報・効果
- 導入前～課題～
- 人が介在することで作業時にウェハに破損が見られた。
- 導入後～効果～
- 手作業の取り扱いによるウェハ破損が無くなった。
基本仕様・機械仕様
| 対象ワーク | Si（シリコン） |
|---|---|
| ワークサイズ | φ4、5、6インチ |
| ワーク厚さ | 400 ～ 1,200μm |
| 設備形式 | 床設置式 |
| 設置環境 | Class 1000 |
| 装置寸法 | W3,856 x D2,220 x H1,900 (mm) |
| 装置重量 | 3,000kg |
| 電源電圧 | 三相 200V 50/60Hz共用 |
| 圧空 | 0.5MPa以上 |
| 真空 | 付属 真空ポンプ |
| タクトタイム | 6sec/枚 |
| 搭載可能キャリア数 | ローダ 60個 / アンローダ 60個 |
