容器回転装置（BRI-01型）
概要・特徴
- 概要
- φ12インチウェハ容器を対象ワークとし、中に水１リットルを入れた状態で回転する装置です。
- ワークサイズ
- φ12インチ カセット(キャリア)
- 工程
- 洗浄工程
- 業界
- 電子部品
- 素材
- FOSB、FOUP
- 特徴1
- 回転数および回転速度は任意に設定が可能です。
- 特徴2
- 対象ワークは合計10種類に対応しています。
- 特徴3
- 容器を置くステージは母材がアルミになっており、メタルフリー塩ビで覆われています。そのため、容器にキズがつくことはありません。
導入情報・効果
- 導入前～課題～
- 一工程に一人必要となっており、人の問題でコストアップを招いていた。
- 導入後～効果～
- 自動化装置導入により作業者が多くの仕事を行えるようになった。
基本仕様・機械仕様
| 対象ワーク | カセット(キャリア） |
|---|---|
| ワークサイズ | φ12インチ |
| 設備形式 | 床設置式 |
| 設置環境 | Class 1000 |
| 装置寸法 | W1,000 x D1,000 x H1,930 (mm) |
| 装置重量 | 250Kg |
| 電源電圧 | 単相 100V 50/60Hz共用 |
| 圧空 | 0.5MPa以上 |
| 最大回転数 | 50rpm |
