ウェハ厚さ測定機(TME-18型)
概要・特徴
- 概要
- ウェハの厚さ測定する装置で、厚さ測定は、レシピによる多点測定を行います。
- ワークサイズ
- φ6インチ
- 工程
- ポリッシング工程
- ウェハ厚み
- 100 ～ 540μm
- 業界
- 電子部品
- 素材
- Si（シリコン）、SiC
- 特徴1
- 他社同等機能を持ちながら安価に提供が可能です。
- 特徴2
- 分光干渉センサーにより非接触にて、ウェハ厚さを測定します。
導入情報・効果
- 導入前～課題～
- 一工程に一人必要となっており、人の問題でコストアップを招いていた。
- 導入後～効果～
- 自動化装置導入により作業者が多くの仕事を行えるようになった。
基本仕様・機械仕様
| 対象ワーク | Si(シリコン）、SiC |
|---|---|
| ワークサイズ | φ6インチ |
| ワーク厚さ | 100 ～ 540μm |
| 設備形式 | 床設置式 |
| 設置環境 | Class 1000 |
| 装置寸法 | W1,200 x D700 x H1,960 (mm) |
| 装置重量 | 300kg |
| 電源電圧 | 三相 200V 50/60Hz共用 |
| 真空 | 付属 真空ポンプ |
| 測定センサ | 分光干渉センサ |
| 測定精度 | 繰り返し10回
標準偏差 ±0.1μm以下 |
| 測定ポイント | 最大30点測定 |
| タクトタイム | φ6インチ 十字5点測定
60sec/枚 |
