ウェハ厚さ測定機(TME-21型)
概要・特徴
- 概要
- ウェハ厚さ測定する装置です。装置は手動オフライン・オンライン及び自動オンラインで稼働します。
- ワークサイズ
- φ6、8インチ
- 工程
- ポリッシング工程
- ウェハ厚み
- 80 ～ 400μm
- 業界
- 電子部品
- 素材
- Si（シリコン）、SiC
- 特徴1
- 分光干渉センサーにより非接触にて、ウェハ厚さを測定
- 特徴2
- ウェハ移載ロボットによる自動搬送で測定部への搬送、カセットへの収納
導入情報・効果
- 導入前～課題～
-
作業者により測定のばらつきが発生。
- 導入後～効果～
-
作業者による測定精度の誤差が解消された。
基本仕様・機械仕様
| 対象ワーク | Si(シリコン）、SiC |
|---|---|
| ワークサイズ | φ6、8インチ |
| ワーク厚さ | 80 ～ 400μm |
| 設備形式 | 床設置式 |
| 設置環境 | Class 1000 |
| 装置寸法 | W1,350 x D800 x H1,925 (mm) |
| 装置重量 | 400kg |
| 電源電圧 | 三相 200V |
| 真空 | -70.0 kPa |
| 測定センサ | 分光干渉センサ |
| 測定精度 | 繰り返し5回 標準偏差 0.1μm |
| 測定ポイント | 最大30点測定 |
| タクトタイム | φ6インチ 十字5点測定時 50sec/枚 |
| その他 | AGV搬送有り、HOST通信有り |
