当社のウェハ検査装置の種類と機能
概要説明
ウェハ検査装置・測定装置.comでは、ウェハの検査装置を数多く手がけてきました。本ページでは、当社が手掛けてきたウェハ検査装置の種類と機能についてご紹介をいたします。
1.ウェハ検査装置の種類について
ウェハ検査装置・測定装置ラボ.comが提供する装置には様々な種類があります。当社で検査装置と分類しているのは、表面の傷・異物などの検査（良品・不良品判別）を行う為の機能を持たせた装置となります。
具体的にどのような装置があるかというと、
・外観検査装置
・表面検査装置
・エッジ検査装置
等があります。
ウェハの検査装置は多くの企業が手掛けており、その価格帯は様々です。当社の場合には、完全自動化を行う為のインライン装置ではなく、スタンドアローン装置と呼ばれるものです。
以下では、実際に当社で設計・製作を行った事例についてご紹介いたします。
2.当社の外観検査装置
1つ目の装置として取り上げるのが外観検査装置（OSI-01型）です。
本装置は、ウェハの合否判定を半自動で行う装置となります。
以下が主な動作機構となります。
①ウェハを収納したカセットを所定の位置にセット（手動）
②ウェハを検査台までロボットで搬送（自動）
③検査を行い、良品・不良品判定を実施（目視=手動）
④検査結果により、良品・不良品を判別し、所定のカセットにロボットが収納 (自動)
これにより、従来は人が行っていた工程を自動化することで省人化の効果と、人がウェハに触れることによる破損などのリスクを軽減することができました。
3.当社の表面検査装置
2つ目にご紹介するのがウェハ表面検査装置（VSI-01型）です。
本装置は、ポリッシュ後ウェハの表面異物検査を行う装置です。また、異物のほかに表面欠陥やキズ、表面粗さの検査も行うことが可能です。
ウェハの取り扱いは裏面を真空吸着することで移載させる機構としている為、ウェハ表面には接触せず表面に傷などを残すとことはありません。
また、本機は既に他社のウェハ表面検査装置を導入していたプロセスの生産性向上の為に導入された実績もあり、生産性アップならびに省人化を実現することができる装置となります。
4.当社のエッジ検査装置
3つ目にご紹介するのが洗浄工程に導入したエッジ検査装置です。この検査装置は、φ12インチウェハを目視でエッジ検査（チップ、カケ検査）する為の装置です。（いわゆるサポート装置となります。）
本機の特長として、目視検査を行う為に用いる検査ステージは作業者のスイッチ回転により速度を調整することができ、回転数・回転速度は作業者の任意で設定が可能です。
また、ウェハのサイズ・傾斜度はご要望に合わせてセッティングが可能となりますので、検査を行いたいウェハをご支給いただくもしくは、情報をいただけましたら最適な検査装置をご提案いたします。
