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ウェハ厚さ仕分け機(WTS-03型)

ウェハ厚さ仕分け機(WTS-03型)

ウェハ厚さ仕分け機(WTS-03型)
ウェハ厚さ仕分け機(WTS-03型)

概要・特徴

概要
ウェハの厚さ測定を行い、その厚さに応じて並べ替えを行う装置です。
ワークサイズ
φ8インチ
工程
熱処理工程
ウェハ厚み
400 ~ 1,000μm
業界
電子部品
素材
Si(シリコン)
特徴1
アンローダカセットステージは8個×3段を左右に配置し、最大1200枚のウェハ処理を
可能
特徴2
測定したデータは付属パソコンのEXCELファイルに保存されます。保存のフォーマットは
様々なご要望に応じることが可能。
特徴3
バーコードリーダラベルプリンタ等の取付けもご希望により対応します。

導入情報・効果

導入前~課題~
一工程に一人必要となっており、人の問題でコストアップを招いていた。
導入後~効果~
自動化装置導入により作業者が多くの仕事を行えるようになった。

基本仕様・機械仕様

対象ワーク Si(シリコン)
ワークサイズ φ8インチ
ワーク厚さ 400 ~ 1,000μm
設備形式 床設置式
設置環境 Class 1000
装置寸法 W2,850 x D1,400 x H2,300 (mm)
装置重量 1,000kg
電源電圧 三相 200V 50/60Hz共用
圧空 0.5MPa以上
真空 付属 真空ポンプ
測定センサ 静電容量センサ
測定精度
繰り返し10回
標準偏差 0.2μm以下
測定ポイント 中心1点
タクトタイム
ウェハ稼働率 75%
3673枚処理
3.5sec/枚
搬送方式 ツインアームクリーンロボット 2基
搭載可能キャリア数 ローダ6個/アンローダ48個

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