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粉体処理機(PPT-01型)

粉体処理機(PPT-01型)

粉体処理機(PPT-01型)
粉体処理機(PPT-01型)

概要・特徴

概要
ウェハの粉体処理を行いSiC製ボートに充填する装置です。
ワークサイズ
φ4、5、6インチ
工程
熱処理工程
ウェハ厚み
400 ~ 1,200μm
業界
電子部品
素材
Si(シリコン)
特徴1
ウェハ間に規定量のシリコン粉を挟みこみます。
特徴2
ウェハ入りカセット60個と空カセット60個が収納可能です。
特徴3
ウェハサイズ、使用カセットについてはご相談ください。

導入情報・効果

導入前~課題~
人が介在することで作業時にウェハに破損が見られた。
導入後~効果~
手作業の取り扱いによるウェハ破損が無くなった。

基本仕様・機械仕様

対象ワーク Si(シリコン)
ワークサイズ φ4、5、6インチ
ワーク厚さ 400 ~ 1,200μm
設備形式 床設置式
設置環境 Class 1000
装置寸法 W3,856 x D2,220 x H1,900 (mm)
装置重量 3,000kg
電源電圧 三相 200V 50/60Hz共用
圧空 0.5MPa以上
真空 付属 真空ポンプ
タクトタイム 6sec/枚
搭載可能キャリア数 ローダ 60個 / アンローダ 60個

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