手動厚さ測定機 (STM-03型)
概要・特徴
- 概要
- 手動操作により、ウェハの厚み測定を行う装置です。
- ワークサイズ
- φ12インチ
- 工程
- ポリッシング工程
- ウェハ厚み
- 750 ~ 850μm
- 業界
- 電子部品
- 素材
- Si(シリコン)
- 特徴1
- 特定位置の厚さを非接触測定しますので、ワークへのキズや損傷を防ぎます。
- 特徴2
- 測定位置決めは手動でウェハステージを移動させて行いますが、プランジャにより定めた位置に停止できる構造です。
- 特徴3
- 測定したデータはPCのEXCELファイルに保存されます。PC上ではわかりやすくデータを表示し、管理も容易です。
導入情報・効果
- 導入前~課題~
- 作業者により測定のばらつきが発生。
- 導入後~効果~
- 作業者による測定精度の誤差が解消された。
基本仕様・機械仕様
対象ワーク | Si(シリコン) |
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ワークサイズ | φ12インチ |
ワーク厚さ | 750 ~ 850μm |
設備形式 | 卓上式 |
設置環境 | Class 1000 |
装置寸法 | W300 x D650 x H295 (mm) |
装置重量 | 20kg |
電源電圧 | 単相 100V 50/60Hz共用 |
真空 | 付属 真空ポンプ |
測定センサ | 静電容量センサ |
測定精度 | 繰り返し10回
標準偏差 0.1μm以下 |
測定ポイント | 十字5点測定 |