ウェハ厚さ測定機(ATM-01型）
概要・特徴
- 概要
- エッチング装置組込型インライン厚さ測定機です。装置はローダ側とアンローダ側に各１台ずつ設置します。
- ワークサイズ
- φ12インチ
- 工程
- エッジング工程
- ウェハ厚み
- 700 ～ 850μm
- 業界
- 電子部品
- 素材
- Si（シリコン）
- 特徴1
- 静電容量型のセンサーを使用し、非接触で多点の厚さ測定が可能です。
- 特徴2
- 測定前にセンサは校正用ゲージを使用し自動で校正を行います。
- 特徴3
- 測定位置、測定点数はお客様のご要望に応じます。
導入情報・効果
- 導入前～課題～
- 一工程に一人必要となっており、人の問題でコストアップを招いていた。
- 導入後～効果～
- 自動化装置導入により作業者が多くの仕事を行えるようになった。
基本仕様・機械仕様
| 対象ワーク | Si（シリコン） |
|---|---|
| ワークサイズ | φ12インチ |
| ワーク厚さ | 700 ～ 850μm |
| 設備形式 | 床設置式 |
| 設置環境 | Class 1000 |
| 装置寸法 | W600 x D1,000 x H1,150 (mm) |
| 装置重量 | 300Kg |
| 電源電圧 | 単相 100V 50/60Hz共用 |
| 圧空 | 0.5MPa以上 |
| 真空 | 付属 真空ポンプ |
| 測定センサ | 静電容量センサ |
| 測定精度 | 繰り返し10回
標準偏差 0.1μm以下 |
| 測定ポイント | 十字5点測定 |
| タクトタイム | φ12インチ 十字5点測定
70sec/枚 |
| その他 | インライン装置 |
