ウェハ厚さ測定"> ウェハ厚さ測定機(ATM-01型)

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ウェハ厚さ測定機(ATM-01型)

ウェハ厚さ測定機(ATM-01型)

ウェハ厚さ測定機(ATM-01型)
ウェハ厚さ測定機(ATM-01型)

概要・特徴

概要
エッチング装置組込型インライン厚さ測定機です。装置はローダ側とアンローダ側に各1台ずつ設置します。
ワークサイズ
φ12インチ
工程
エッジング工程
ウェハ厚み
700 ~ 850μm
業界
電子部品
素材
Si(シリコン)
特徴1
静電容量型のセンサーを使用し、非接触で多点の厚さ測定が可能です。
特徴2
測定前にセンサは校正用ゲージを使用し自動で校正を行います。
特徴3
測定位置、測定点数はお客様のご要望に応じます。

導入情報・効果

導入前~課題~
一工程に一人必要となっており、人の問題でコストアップを招いていた。
導入後~効果~
自動化装置導入により作業者が多くの仕事を行えるようになった。

基本仕様・機械仕様

対象ワーク Si(シリコン)
ワークサイズ φ12インチ
ワーク厚さ 700 ~ 850μm
設備形式 床設置式
設置環境 Class 1000
装置寸法 W600D1,000H1,150 (mm)
装置重量 300Kg
電源電圧 単相 100V 50/60Hz共用
圧空 0.5MPa以上
真空 付属 真空ポンプ
測定センサ 静電容量センサ
測定精度
繰り返し10回
標準偏差 0.1μm以下
測定ポイント 十字5点測定
タクトタイム
φ12インチ 十字5点測定
70sec/枚
その他 インライン装置

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