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手動厚さ測定機(STM-10型)

手動厚さ測定機(STM-10型)

手動厚さ測定機(STM-10型)
手動厚さ測定機(STM-10型) 手動厚さ測定機(STM-10型)

概要・特徴

概要
手動操作により、ウェハの厚み測定を行う装置です。
ワークサイズ
φ6 ~ 12インチ 
工程
ラッピング工程
ウェハ厚み
500 ~ 1,000μm
業界
電子部品
素材
Si(シリコン)
特徴1
特定位置の厚さを非接触測定しますので、ワークへのキズや損傷を防ぎます。
 
特徴2
測定したデータはPCのEXCELファイルに保存されます。PC上ではわかりやすくデータを表示し、管理も容易です。

導入情報・効果

導入前~課題~
作業者により測定のばらつきが発生。
導入後~効果~
作業者による測定精度の誤差が解消された。

基本仕様・機械仕様

対象ワーク Si(シリコン)
ワークサイズ φ6 ~ 12インチ
ワーク厚さ 500 ~ 1,000μm
設備形式 卓上式
設置環境 一般室
装置寸法 W264 x D630 x H270 (mm)
装置重量 20kg
電源電圧 単相 100V 50/60Hz共用
真空 付属 真空ポンプ
測定センサ 静電容量センサ
測定精度
繰り返し10回
標準偏差 0.2μm以下
測定ポイント 中心1点

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