「ウェハ検査装置・測定装置ラボ.com」はウェハ製造・検査工程のプロセス自動化を行う装置メーカーです。

お問い合わせはこちら

顕微鏡ローダー(MWL-03型)

顕微鏡ローダー(MWL-03型)

顕微鏡ローダー(MWL-03型)
顕微鏡ローダー(MWL-03型) 顕微鏡ローダー(MWL-03型) 顕微鏡ローダー(MWL-03型)

概要・特徴

概要
ウェハのマクロ検査及び、顕微鏡によるミクロ検査を行う装置です。
ワークサイズ
φ8インチ
工程
バックグラインド工程
ウェハ厚み
100 ~ 500μm
業界
電子部品
素材
Si(シリコン)
特徴1
顕微鏡へのウェハ移載を完全自動化
特徴2

マッピング機能付き4軸水平多軸ツインアームロボットを導入

 

導入情報・効果

導入前~課題~
人が介在することで作業時にウェハに破損が見られた。
導入後~効果~
手作業の取り扱いによるウェハ破損が無くなった。

基本仕様・機械仕様

対象ワーク Si(シリコン)
ワークサイズ φ8インチ
ワーク厚さ
100 ~ 500μm 
(そり最大13㎜まで可能)
設備形式 床設置式
設置環境 Class 1000
装置寸法 W1,650 x D1,110 x H1,400 (mm)
装置重量 450kg
電源電圧 単相 100V 50/60Hz共用
圧空 0.5MPa以上
真空 付属 真空ポンプ
マクロ検査 目視検査(裏面含む)
ミクロ検査 顕微鏡検査
顕微鏡
①オートフォーカス付き
②接眼レンズ x 10
 対物レンズ:5/10/20/50/100( x 2.5付属) 
③オートフォーカス付き
④500万画素カラーカメラ付き
タクトタイム
Total:108sec/枚
①カセット取出→ミクロ検査部受渡(アライメント含む)24sec
②ミクロ検査(5点測定)30sec
③ミクロ検査部→マクロ検査部搬送 18sec
④マクロ検査(裏面含む)20sec
⑤マクロ検査部→カセット収納 16sec
搬送方式 ツインアームクリーンロボット 1基
搭載可能キャリア数
ローダ/アンローダ兼用1個

関連事例を見る

一覧に戻る

閉じる