顕微鏡ローダー（MWL-03型）
概要・特徴
- 概要
- ウェハのマクロ検査及び、顕微鏡によるミクロ検査を行う装置です。
- ワークサイズ
- φ8インチ
- 工程
- バックグラインド工程
- ウェハ厚み
- 100 ～ 500μm
- 業界
- 電子部品
- 素材
- Si（シリコン）
- 特徴1
-
顕微鏡へのウェハ移載を完全自動化
- 特徴2
-
マッピング機能付き4軸水平多軸ツインアームロボットを導入
導入情報・効果
- 導入前～課題～
- 人が介在することで作業時にウェハに破損が見られた。
- 導入後～効果～
- 手作業の取り扱いによるウェハ破損が無くなった。
基本仕様・機械仕様
| 対象ワーク | Si（シリコン） |
|---|---|
| ワークサイズ | φ8インチ |
| ワーク厚さ | 100 ～ 500μm
(そり最大13㎜まで可能) |
| 設備形式 | 床設置式 |
| 設置環境 | Class 1000 |
| 装置寸法 | W1,650 x D1,110 x H1,400 (mm) |
| 装置重量 | 450kg |
| 電源電圧 | 単相 100V 50/60Hz共用 |
| 圧空 | 0.5MPa以上 |
| 真空 | 付属 真空ポンプ |
| マクロ検査 | 目視検査(裏面含む） |
| ミクロ検査 | 顕微鏡検査 |
| 顕微鏡 | ①オートフォーカス付き
②接眼レンズ x 10
対物レンズ：5/10/20/50/100( x 2.5付属)
③オートフォーカス付き
④500万画素カラーカメラ付き |
| タクトタイム | Total：108sec/枚
①カセット取出→ミクロ検査部受渡(アライメント含む）24sec
②ミクロ検査(5点測定）30sec
③ミクロ検査部→マクロ検査部搬送 18sec
④マクロ検査(裏面含む）20sec
⑤マクロ検査部→カセット収納 16sec |
| 搬送方式 | ツインアームクリーンロボット 1基 |
| 搭載可能キャリア数 | ローダ/アンローダ兼用1個 |
