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一括移載機(WTI-01型)

一括移載機(WTI-01型)

一括移載機(WTI-01型)
一括移載機(WTI-01型) 一括移載機(WTI-01型)

概要・特徴

概要
本機械は、ウェハのカセットtoカセット移載を、手動操作にて行う装置です。
ワークサイズ
φ8インチ
工程
表面酸化工程
ウェハ厚み
725 ~ 800μm
業界
電子部品
素材
Si(シリコン)
特徴1
ウェハをカセットに接触させず25枚一括で持ち上げて移載します。そのため発塵が少なく、製品への汚染を最小限に抑えます。
特徴2
移動軸にメカストッパを設け、操作ミスによるウェハ破損を防ぎます。また、移載は片手操作が可能です。

導入情報・効果

導入前~課題~
人が介在することで作業時にウェハに破損が見られた。
導入後~効果~
手作業の取り扱いによるウェハ破損が無くなった。

基本仕様・機械仕様

対象ワーク Si(シリコン)
ワークサイズ φ8インチ
ワーク厚さ 725 ~ 800μm
設備形式 卓上式
設置環境 Class 1000
装置寸法 W590 x D780 x H325 (mm)
装置重量 40Kg
操作方法 手動操作
搭載可能キャリア数 ローダ/アンローダ兼用2個

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