「ウェハ検査装置・測定装置ラボ.com」はウェハ製造・検査工程のプロセス自動化を行う装置メーカーです。

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Q&A

ウェハ検査で、自動で検査NGのウェハを取り除くことはできますか?

はい。ウェハ検査・測定装置ラボ.comでは、検査に合格したウェハと不合格のウェハを分けることができます。
 
例えばウェハ外観検査装置OSI- 01型では、カセットステージを供給用、排出用と2つ設けております。ウェハをハンドリングによって目視検査ステージまで搬送し、外観目視検査によって合格であれば排出用カセットへ搬送、不合格であれば供給用カセットにウェハを戻すという仕様がございます。
 
また、お客様のご要望によって、検査合格のウェハを供給用カセットに戻す、またはカセットステージを1にしてコンパクトな装置にする等、柔軟な装置製作に対応しております。
 

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