「ウェハ検査装置・測定装置ラボ.com」はウェハ製造・検査工程のプロセス自動化を行う装置メーカーです。

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Q&A

ウェハ搬送時は、ウェハと装置は接触しますか?

はい、ウェハ搬送時はウェハと搬送装置は、一部接触をします。接触箇所としては、ウェハの裏面やエッジとなります。
 
例えば、裏面吸着の際は、搬送ハンド面が接触し、またエッジグリップの際はウェハの端面のみ接触となります。
お客様のご要望によっては、ウェハのエッジ数ミリだけが接触するようにしてほしいという依頼もございます。
 
 

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