ウェハ移載時に、ウェハと接触する箇所はどのような材質でしょうか？
ウェハ移載時にウェハと接触する箇所は、主にアルミナセラミック(導電テフロンコート処理）やPEEKが用いられております。
ウェハ接書部にアルミナセラミックが用いられているのは、加工段階で吸着穴が設けやすいためであり、一方樹脂製のPEEKの場合は金属汚染の影響が小さいためです。
またどちらも高強度かつ耐薬品性などの特性があるため、ウェハ移載時にウェハ接触しても問題ございません。
万が一金属がウェハと接触すると、不純物が混入する恐れがあるため、ウェハ接触部が金属製の場合はテフロンコーティングをするのが一般的です。
Q&A一覧
工場見学をしたいのですが、ご対応いただけますでしょうか？
お見積りをお願いした場合、どのくらいでいただけますか？
ゴミが入らない環境でのウェハ測定を検討していますが、御社にはクリーンルームはありますか？
装置の設計から製作まで依頼すると、納期はどれくらいかかりますか？
厚さ測定機に搭載されているセンサは、自社開発されていますか？
御社の設備仕様書はありますか。
機密保持契約は可能ですか。
海外での販売実績はありますか？
国内ではどのエリアまで販売実績がありますか？
ウェハ検査・測定装置ラボ.comでは、装置の製作以外にどこまでお願いできますでしょうか？
どのくらいの大きさのウェハまで検査・測定の対応ができますか？
特別なウェハの検査・測定用の装置は製作可能でしょうか？
見積書の他には、どのような資料をいただけますか？
装置の組立は、御社でご対応いただけますでしょうか？
外観検査装置では、どれくらいの大きさまで測定できますか？
厚さ測定器では、どれくらいの厚さまで測定できますか？
どのような材質のウェハの測定に対応可能でしょうか？
厚さ測定は、どのくらいの精度で測定できますか？
ウェハの外観検査では、ウェハの操作はどのようにするのでしょうか?
ウェハ検査で、自動で検査NGのウェハを取り除くことはできますか？
ウェハ外観検査装置は、どれくらい小さいウェハまで対応していますか？
ウェハ移載時に、ウェハと接触する箇所はどのような材質でしょうか？
ウェハの測定だけお願いしたいのですが、対応可能でしょうか？
ウェハの外観検査で使用している照明を教えてください。
ウェハ移載時における反転機能のメリットを教えてください。
ウェハ搬送時は、ウェハと装置は接触しますか？
ウェハの搬送順番は、弊社の希望に沿っていただけますでしょうか？
ウェハ移載・搬送において、どれくらいの大きさまで搬送できますか？
税制措置への対応について、工業会証明書の用意をお願いすることはできますか。
御社に定期メンテンスを依頼することは可能ですか？
又、自社でメンテンスを行うことは可能ですか。装置の保証期間はどの程度でしょうか。
保証の除外項目はどのような場合でしょうか。
測定委託業務は行っていますか？
海外への装置輸出販売は 可能でしょうか。
装置納入についてクレーン等 ご準備頂けますか。
ウェハの外観検査における検査項目を教えてください。
サイトに記載のない装置が欲しいです。カスタム対応できますか?
サイトに記載しているカタログが 欲しいです。
新規見積、注文をしたいのですが 対応していただけますか。
サイトに記載している装置の 詳細が知りたい。
海外メーカーが撤退してしまい、 既存機メンテナンスサービスが 受けられなくなりました。 購入した装置でなくても保守・修理をたのめますか？
量産機になりますが対応は可能でしょうか？
半導体製品を輸出するときの該当非該当判定書類は入手できますか？
顧客ニーズにあった装置の提案できないかご相談させて頂きたく、貴社のビジネス体制や内容を教えて下さい。
弊社は商社なのですが、御社の製品にご興味があります 。掲載装置のカタログと価格を知りたいです。
