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自動キャリア厚さ測定機(CME-04型)

自動キャリア厚さ測定機(CME-04型)

自動キャリア厚さ測定機(CME-04型)
自動キャリア厚さ測定機(CME-04型)

概要・特徴

概要
ラップ/ポリッシュ用キャリアの厚さを測定する装置です。
ワークサイズ
φ743mm
工程
ポリッシング工程
ウェハ厚み
750μm程度
業界
電子部品
素材
SUS等
特徴1
測定したデータはPCのEXCELファイルに自動的に記録されます。
特徴2
キャリアをセットするステージが回転するため、ステージとの擦れによってキャリアの表面に傷が発生することがありません。
特徴3
測定するキャリアのサイズ、材質、測定ポイント等はご相談ください。

導入情報・効果

導入前~課題~
作業者により測定のばらつきが発生
導入後~効果~
作業者による測定精度の誤差が解消された。

基本仕様・機械仕様

対象ワーク SUSキャリア
ワークサイズ φ743mm
ワーク厚さ 750μm程度
設備形式 床設置式
設置環境 Class 1000
装置寸法 W960D1,670H1,560 (mm)
装置重量 300kg
電源電圧 単相 100V 50/60Hz共用
測定センサ デジタルゲージ
測定精度
繰り返し10回
標準偏差 0.1μm以下
測定ポイント 任意多点測定

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