自動抵抗率測定機（RTS-01型）
概要・特徴
- 概要
- ウェハの厚さと抵抗の測定を行い、指定された抵抗率の区分または抵抗率の厚さを含んだ区分にワークを選別する装置です。
- ワークサイズ
- φ3、4、5、6インチ
- 工程
- ラッピング工程
- ウェハ厚み
- 150 ～ 1,500μm
- 業界
- 電子部品
- 素材
- Si（シリコン）
- 特徴1
- 厚さ測定は接触式センサ、抵抗測定は四探針センサを使用します。
- 特徴2
- 測定ポイントはレシピにて任意の位置を指定可能です。
- 特徴3
- 画像処理システムを使用し、ウェハのセンタリング及び基準位置出しを行います。
導入情報・効果
- 導入前～課題～
- 作業者により測定のばらつきが発生。
- 導入後～効果～
- 作業者による測定精度の誤差が解消された。
基本仕様・機械仕様
| 対象ワーク | Si（シリコン） |
|---|---|
| ワークサイズ | φ3、4、5、6インチ |
| ワーク厚さ | 150 ～ 1,000μm |
| 設備形式 | 床設置式 |
| 設置環境 | Class 1000 |
| 装置寸法 | W1,950 x D1,750 x H1,700 (mm) |
| 装置重量 | 960kg |
| 電源電圧 | 単相 100V 50/60Hz共用 |
| 圧空 | 0.5MPa以上 |
| 真空 | 付属 真空ポンプ |
| 厚さ測定 | デジタルゲージ
[測定精度]
繰り返し10回
指示精度 0.7μm以内
[測定ポイント]
中心1点、十字5点 |
| 抵抗測定 | 四探針法
[測定精度]
繰り返し20回
指示精度 標準値±1%以内
[測定ポイント]
中心1点、十字5点 |
| タクトタイム | φ6インチ 十字5点測定
28sec/枚 |
| 搬送方式 | シングルアームクリーンロボット ２基 |
| 搭載可能キャリア数 | ローダ12個/アンローダ15個 |
