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自動抵抗率測定機(RTS-01型)

自動抵抗率測定機(RTS-01型)

自動抵抗率測定機(RTS-01型)
自動抵抗率測定機(RTS-01型)

概要・特徴

概要
ウェハの厚さと抵抗の測定を行い、指定された抵抗率の区分または抵抗率の厚さを含んだ区分にワークを選別する装置です。
ワークサイズ
φ3、4、5、6インチ
工程
ラッピング工程
ウェハ厚み
150 ~ 1,500μm
業界
電子部品
素材
Si(シリコン)
特徴1
厚さ測定は接触式センサ、抵抗測定は四探針センサを使用します。
特徴2
測定ポイントはレシピにて任意の位置を指定可能です。
特徴3
画像処理システムを使用し、ウェハのセンタリング及び基準位置出しを行います。

導入情報・効果

導入前~課題~
作業者により測定のばらつきが発生。
導入後~効果~
作業者による測定精度の誤差が解消された。

基本仕様・機械仕様

対象ワーク Si(シリコン)
ワークサイズ φ3、4、5、6インチ
ワーク厚さ 150 ~ 1,000μm
設備形式 床設置式
設置環境 Class 1000
装置寸法 W1,950 x D1,750 x H1,700 (mm)
装置重量 960kg
電源電圧 単相 100V 50/60Hz共用
圧空 0.5MPa以上
真空 付属 真空ポンプ
厚さ測定
デジタルゲージ
 
[測定精度]
繰り返し10回
指示精度 0.7μm以内
 
[測定ポイント]
中心1点、十字5点
抵抗測定
四探針法
 
[測定精度]
繰り返し20回
指示精度 標準値±1%以内
 
[測定ポイント]
中心1点、十字5点
タクトタイム
φ6インチ 十字5点測定
28sec/枚
搬送方式 シングルアームクリーンロボット 2基
搭載可能キャリア数
ローダ12個/アンローダ15個

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