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ウェハ厚さ測定機(TME-15型)

ウェハ厚さ測定機(TME-15型)

ウェハ厚さ測定機(TME-15型)
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概要・特徴

概要

レシピ設定によりウェハの多点の厚さを測る装置です。

ワークサイズ
φ4、5、6インチ
工程
エッジング工程
ウェハ厚み
300 ~ 1,000μm
業界
電子部品
素材
Si(シリコン)
特徴1

搬送方法4軸水平多軸シングルアームロボット

導入情報・効果

導入前~課題~
作業者により測定のばらつきが発生。
導入後~効果~
作業者による測定精度の誤差が解消された。

基本仕様・機械仕様

対象ワーク Si(シリコン)
ワークサイズ φ4、5、6インチ
ワーク厚さ 300 ~ 1,000μm
設備形式 床設置式
設置環境 Class 1000
装置寸法 W1,340 x D930 x H1,896 (mm)
装置重量 400Kg
電源電圧
三相 200V 50/60Hz共用
真空 -60KPa
測定センサ 分光干渉センサ
測定精度
繰り返し30回
測定値再現性 バラツキ1.0μm以下
測定ポイント レシピ多点測定
タクトタイム
φ5インチ 32点測定
105sec/枚

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