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ウェハ厚さ測定機(TME-12型)

ウェハ厚さ測定機(TME-12型)

ウェハ厚さ測定機(TME-12型)
ウェハ厚さ測定機(TME-12型) ウェハ厚さ測定機(TME-12型)

概要・特徴

概要
セラミックプレートに貼り付けているウェハの厚さを光学プローブ/センサにて非接触測定する装置です。
ワークサイズ
φ4、6インチ
工程
エッジング工程
ウェハ厚み
20 ~ 2,000μm
業界
電子部品
素材
SiC
特徴1
ワークのセットと取り出しは作業者が行うシンプルな構成の測定機です。
特徴2
測定データは、付属パソコンでCSV形式での保存とグラフィカル表示が可能です。

導入情報・効果

導入前~課題~
作業者により測定のばらつきが発生。
導入後~効果~
作業者による測定精度の誤差が解消された。

基本仕様・機械仕様

対象ワーク SiC
ワークサイズ φ4、6インチ
ワーク厚さ 20 ~ 2,000μm
設備形式 床設置式
設置環境 Class 1000
装置寸法 W700D943H1,630 (mm)
装置重量 200kg
電源電圧 単相 200V 50/60Hz共用
測定センサ 分光干渉センサ
測定精度
繰り返し10回
標準偏差 0.2μm以下
測定ポイント レシピ多点測定
タクトタイム
φ6インチ 十字5点測定
15sec/枚

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