水平多関節ロボット
水平多関節ロボットは、産業用ロボットのうち水平方向にアームが動作するロボットのことです。(Selective Compliance Assembly Robot Armを略してSCARA⦅スカラ⦆ロボットとも呼ばれます。)水平多関節ロボットは他の産業用ロボットと比較して小型であり、比較的小さなスペースでも動作します。また水平多関節ロボットシンプルな構造のため、自動組み立て作業における省力化で効果を発揮します。当社でも水平多関節ロボットを搭載したウェハ検査・測定装置の製造実績がございますので、ロボット付きのウェハ検査・測定装置をお探しの方は、お気軽に当社までご相談ください。
用語一覧
分光干渉式
静電容量式
化合物半導体ウェハ
ポーラスチャック
ベルヌーイ
パーティクル
ノッチ
テフロンコート
タクトタイム
ダイシング
スタンドアローン
水平多関節ロボット
オリフラ
エッジクランプ
アライメント
Siウェハ
SiCウェハ
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MEMS
JEITA
FFU
P/N判定
SORI
BOW
WARP
TTV
HSMS通信
SECS通信
インライン
PMT電圧
最小検出粒径
光散乱検出
ヘイズ
GEM通信
HOST通信
ウェハ
GaAsウェハ
産業用ロボット
ファクトリーオートメーション(FA)
SFQR
SFQD
色収差共焦点式
レーザ変位計
屈折率
シリコンサイクル
SOI
SOIウェハ
多結晶
単結晶
クリーンクラス
イレブンナイン