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用語集

水平多関節ロボット

水平多関節ロボットは、産業用ロボットのうち水平方向にアームが動作するロボットのことです。（Selective Compliance Assembly Robot Armを略してSCARA｟スカラ｠ロボットとも呼ばれます。）水平多関節ロボットは他の産業用ロボットと比較して小型であり、比較的小さなスペースでも動作します。また水平多関節ロボットシンプルな構造のため、自動組み立て作業における省力化で効果を発揮します。当社でも水平多関節ロボットを搭載したウェハ検査・測定装置の製造実績がございますので、ロボット付きのウェハ検査・測定装置をお探しの方は、お気軽に当社までご相談ください。

 

 

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