Siウェハ
Siウェハは、ケイ素（シリコン）で構成されたウェハのことです。不純物がほとんどない高純度に製造されたSiウェハは、細かくカットされた後に半導体チップとして、あらゆる電子部品に使用されています。またSiウェハは、世界中で多くのメーカーが生産していますが、その中でも日本のメーカーが世界でもトップシェアを誇っています。
しかしSiウェハは、その結晶性の特徴ゆえに非常に脆く、少しの衝撃でもすぐに割れてしまいます。そのため、Siウェハは慎重に取り扱う必要があり、人が手動で行うよりも、ミスなく自動的に作業することができるロボットが主にSiウェハの取り扱いをしています。
当社では、いままでに培った知見を活かして、お客様の要望に合わせて最適なウェハ検査・測定装置を製造いたします。Siウェハの取り扱いにお困りの方は、ぜひ当社までご連絡ください。
用語一覧
分光干渉式
静電容量式
化合物半導体ウェハ
ポーラスチャック
ベルヌーイ
パーティクル
ノッチ
テフロンコート
タクトタイム
ダイシング
スタンドアローン
水平多関節ロボット
オリフラ
エッジクランプ
アライメント
Siウェハ
SiCウェハ
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JEITA
FFU
P/N判定
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WARP
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インライン
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最小検出粒径
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ヘイズ
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HOST通信
ウェハ
GaAsウェハ
産業用ロボット
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SOIウェハ
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