「ウェハ検査装置･測定装置ラボ.com」はウェハ製造・検査工程のプロセス自動化を行う装置メーカーです。

エッジクランプは、ウェハの外周部を保持しながら搬送する機構のことです。ウェハ表面には触れずに、複数の保持用の爪でウェハを挟み込んで保持して搬送します。エッジクランプは主に、ウェハを容器から出し入れしたり、位置決め、移送をする際に活用されます。エッジクランプによって人間の代わりに装置がウェハのハンドリングを行うことで、ウェハを破損するなどの人為的不良を阻止し、手動よりもミスなくスムーズで生産性の高いラインを実現します。当社の検査・測定装置にも多く採用されています。エッジクランプ搭載の自動化・省力化装置でコスト削減や生産性向上を図りたい方は、当社までお気軽にお問い合わせください。