「ウェハ検査装置･測定装置ラボ.com」はウェハ製造・検査工程のプロセス自動化を行う装置メーカーです。

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用語集

アライメント

アライメントとは、ウェハと検査及び測定ステージの位置決めを行う位置補正機能のことです。ワークと検査装置やテーブルの位置関係にズレが生じると、不良の発生や生産性の低下につながる恐れがあります。そのため、ウェハの検査・測定プロセスで省力化を図る際は、ウェハの正確な位置決めとアライメントが必須となります。主なプロセスとしては、光電センサや画像処理システムにおいて検知されたノッチやオリフラなどのアライメントマークを基に、位置決め、アライアンスを行うことで、ウェハを正確な位置に素早く補正します。
当社でもアライメント機能を搭載したウェハ検査・測定装置を展開しており、歩留まりの改善を実現しております。ウェハ検査・測定での省力化でお悩みの方は、まずはお気軽に当社までご連絡ください。

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